00882naa a2200193 a 450000100080000000500110000800800410001910000200006024500690008026000090014952003260015865300270048465300150051165300160052670000220054270000190056470000180058377300870060110019252004-03-25       2000    bl uuuu     u00u1 u    #d1 aESCOBEDO, J. F.  aTermopilhas de filmes finos a vácuo por evaporação de metais.  c2000  aDescreve-se um método de obtenção de termopilhas a vácuo usando processo fotolitográfico e evaporação de metais. Foram elaboradas termopilhas tipo preto/branco nas configurações estrela e disco-concêntrico, e tipo preta, ambas de bismuto/antimônio, depositados em substrato de vidro, acrílico, kapton e mylar.  aEvaporação de metais  aFilme fino  aTermopilhas1 aFRISINA, V. de A.1 aRICIERI, R. P.1 aCHAVES, M. A.  tRevista Brasileira de Agrometeorologia, Santa Mariagv. 8, n. 1, p. 95 -104, 2000.