Data/hora: 03/06/2024 15:59:38

Biblioteca(s): 	Embrapa Instrumentação.	
Data corrente: 	21/02/2006	
Data da última atualização: 	21/02/2006	
Autoria: 	ASSIS, O. B. G.; SANTOS, S. F.; BERNARDES-FILHO, R.; RODRIGUES, J. A.	
Título: 	Morphology ealuation of sputtered Au films onto mica by atomic force microscopy.	
Ano de publicação: 	1999	
Fonte/Imprenta: 	Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo, Campinas, v.18, n.2, p.48-51, 1999.	
Idioma: 	Inglês	
Conteúdo: 	Atomic force microscope (AFM) was used to investigate the surface morphology of Au sputtered onto cleaved mica in ordinary deposition as used to SEM analysis. The data hae as basis the variation of the surface morphology by the film formation and the RMS roughness assessment. The results indicate a relative homogenity in the deposited film  with nuclei formation of dimensions around 40 nm height by 30nm diameters. The overall area, when measured by AFM way, is found to be approximately 5,5 times large due to deposition. 	
Palavras-Chave: 	AFM; Au deposition; Microscopia de Força Atômica; Sputtering; Surface analysis.	
Thesaurus Nal: 	roughness.	
Categoria do assunto: 	--	
Registro original: 	Embrapa Instrumentação (CNPDIA)	
Exemplares: 	CNPDIA - (9428-1) - UPC - SP - -- - PROCI-99.00010 -  - 1999.00010 - DIS